【熱點直擊】上海微電子極紫外(EUV)光刻機首秀 光刻機（膠）概念持續活躍

9月24日，光刻機（膠）概念持續活躍，概念龍頭張江高科漲停，再創歷史新高。聯合化學、華軟科技、彤程新材、格林達漲停，南大光電、安集科技、富創精密、芯源微漲幅超過10%。

消息面上，9月23日，在第25屆中國國際工業博覽會開幕式上，首批上海市中試平臺示范名單發布，四家入選，包括光刻膠及原材料中試平臺、新型儲能測試基地（應用示范電站）中試平臺、面向航發領域的高端機床裝備中試平臺，以及人形機器人中試平臺。當日，芯上微裝攜多款重磅新品精彩亮相，并憑借卓越的技術實力，成功斬獲展會最高榮譽“工博會CIIF大獎”及“集成電路創新成果獎”。上海微電子(SMEE)展臺上首次公開亮相了極紫外(EUV)光刻機參數圖。

國金證券表示，上海微電子以及芯上微裝各自都展出重磅產品，背后對應的是今年產業端重磅的“0—1”突破，先進封裝機臺正式量產、干法DUV近期將進入量產測試階段、國產EUV進入原理機搭建階段（本次展出為EUV概念驗證機），國產光刻機產業進入爆發元年。

根據華鑫證券研報，在國家政策支持下，國內企業加速研發突破光刻機制造技術，目前國產光刻機在90nm及以下工藝節點方面取得了重要進展。例如，上海微電子自主研發的600系列光刻機已實現90nm工藝的量產，并正在進行28nm浸沒式光刻機的研發工作。近期，宇量昇與中芯國際的合作測試是國產光刻機突破的重要信號。從產業影響看，華鑫證券認為光刻機技術的突破將帶動上游材料、精密機械等配套產業升級，加速光刻膠、光學部件等“卡脖子”材料的國產化進程，形成“龍頭帶動、多點突破”的產業升級格局。

光刻機（膠）概念相關股票：聯合化學、華軟科技、張江高科、彤程新材、南大光電、上海新陽、晶瑞電材、芯源微、安集科技。

責任編輯：劉栩