賽微電子公告，控股子公司賽萊克斯北京代工制造的某款MEMS(簡稱為微機(jī)電系統(tǒng))生物芯片通過了客戶驗(yàn)證，該客戶已同步簽署試產(chǎn)訂單，啟動首批MEMS生物芯片8英寸晶圓的小批量試生產(chǎn)。MEMS制造工藝可以在微小的生物芯片中加工微納米級別的泵、閥、管道、容器等，將生物傳感器的復(fù)雜功能集成內(nèi)置在芯片中，同時(shí)可以實(shí)現(xiàn)生物芯片的高靈敏度、高準(zhǔn)確性、微創(chuàng)應(yīng)用及低成本、大批量生產(chǎn)。
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