芯源微：將發(fā)布最新的前道浸沒式高產(chǎn)能涂膠顯影機(jī)

　　芯源微：公司定于12月17日上午10:30召開浸沒式高產(chǎn)能涂膠顯影機(jī)新品發(fā)布會(huì)，本次發(fā)布的產(chǎn)品為公司最新的前道浸沒式高產(chǎn)能涂膠顯影機(jī)。該機(jī)型采用公司獨(dú)創(chuàng)的對(duì)稱分布高產(chǎn)能架構(gòu)，滿配36Spin處理單元，搭載公司自主研發(fā)的雙向同步取放機(jī)械手，可大幅提升整機(jī)的機(jī)械傳送產(chǎn)能和傳送精度，能夠匹配全球主流光刻機(jī)聯(lián)機(jī)生產(chǎn)。