國數(shù)科技發(fā)布國內(nèi)首款硅基壓電MEMS水聽器芯片

近日，青島國數(shù)信息科技有限公司在青島正式發(fā)布了國內(nèi)首款硅基壓電MEMS水聽器芯片，以及基于該芯片構(gòu)建的MEMS水聽器、芯片開發(fā)套件、處理軟件和聲學(xué)仿真平臺一體化系列產(chǎn)品。該芯片由國數(shù)科技旗下國數(shù)微電子研發(fā)團(tuán)隊(duì)設(shè)計(jì)開發(fā)，是一款全自主國產(chǎn)化芯片，為高端水聲器件與裝備提供全新解決方案。

據(jù)了解，水聽器即水下麥克風(fēng)，是把水下聲信號轉(zhuǎn)換為電信號的換能器。國數(shù)科技副總裁、戰(zhàn)略創(chuàng)新中心負(fù)責(zé)人楊華在新品發(fā)布會上表示，硅基壓電MEMS水聽器芯片，從設(shè)計(jì)到工藝，保證了器件的高一致性與低成本，在10Hz-100KHz帶寬內(nèi)保持高靈敏度，6mm*6mm尺寸芯片靈敏度-205dB re 1V/μPa。這是一款小尺寸、高性能、低成本的新型海洋聲學(xué)探測芯片，可在環(huán)境、漁業(yè)、探測領(lǐng)域多場景下投入應(yīng)用。

性能指標(biāo)優(yōu)越功耗降低30%

MEMS水聽器芯片基于擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的陣列式環(huán)狀電極芯片架構(gòu)，采用氮化鋁（ALN）新型壓電薄膜材料，基于微器件和半導(dǎo)體新工藝制備，實(shí)現(xiàn)了高靈敏度、高一致性、高信噪比的優(yōu)越性能指標(biāo)以及小型化、低功耗的尖端功能指標(biāo)。

楊華說：“相較傳統(tǒng)的壓電陶瓷（PZT）和氧化鋅（ZnO）等壓電材料， AlN介電常數(shù)低，可與CMOS工藝兼容且不需要極化，有利于實(shí)現(xiàn)器件的高信噪比、高集成化。”硅基MEMS芯片能更好的實(shí)現(xiàn)水聽器的輕量化與低功耗，與目前市面上同類的壓電陶瓷類水聽器產(chǎn)品相比，采用AlN壓電薄膜的MEMS芯片的水聽器尺寸減小50%，功耗降低30%。

適合更多種聲學(xué)探測應(yīng)用

器件的高一致性、高靈敏度和高信噪比（SNR）令國數(shù)的硅基MEMS水聽器芯片適合多種環(huán)境中需要超高的動態(tài)范圍、遠(yuǎn)場的聲學(xué)探測應(yīng)用。超高一致性的靈敏度匹配能夠針對多水聽器陣列優(yōu)化波束成形和噪聲消除算法，低功耗產(chǎn)品性能能夠延長海洋監(jiān)測應(yīng)用周期。

硅基MEMS水聽器芯片適用于環(huán)境、漁業(yè)、探測等應(yīng)用領(lǐng)域：聲納設(shè)備；浮潛標(biāo)觀測監(jiān)測平臺；AUV、ROV等水下探測機(jī)器人；水聲監(jiān)測網(wǎng)網(wǎng)絡(luò)節(jié)點(diǎn)；潛器表面貼裝；魚探儀；聲學(xué)導(dǎo)引設(shè)備。

國數(shù)科技硅基MEMS水聽器提供芯片級和器件級封裝，由于尺寸小，可進(jìn)一步拓展應(yīng)用環(huán)境，提供軟件和聲學(xué)仿真平臺支持，確保應(yīng)用所需的快速開發(fā)的最佳解決方案。

填補(bǔ)行業(yè)“技術(shù)空白”

國數(shù)科技MEMS水聽器芯片以國內(nèi)領(lǐng)先為起點(diǎn)，對標(biāo)、趕超國際技術(shù)現(xiàn)狀，站在了海洋聲學(xué)探測芯片發(fā)展的歷史關(guān)鍵點(diǎn)，致力于為海洋聲學(xué)探測器件帶來性能上的突破。

新型MEMS水聽器芯片的研發(fā)與應(yīng)用，是團(tuán)隊(duì)一直以來努力的重要方向。國數(shù)科技將以解決國家技術(shù)“卡脖子”與填補(bǔ)“技術(shù)空白”為時(shí)代使命，不斷擴(kuò)大產(chǎn)品系列，為實(shí)現(xiàn)海洋強(qiáng)國“從芯開始，篤行不怠”，向著科技創(chuàng)新的巔峰出發(fā)。

相關(guān)資料：

青島國數(shù)信息科技有限公司自成立以來，經(jīng)過多年的不斷堅(jiān)持與努力，現(xiàn)已發(fā)展為集產(chǎn)、學(xué)、研、服務(wù)為一體的創(chuàng)新型科技公司。公司專注于海洋通信與探測領(lǐng)域系統(tǒng)與裝備的研發(fā)制造及等級維保服務(wù)，核心技術(shù)為完全自主知識產(chǎn)權(quán)的裝備級全過程電子信號處理能力。公司以核心技術(shù)為依托，一方面瞄準(zhǔn)海洋領(lǐng)域水上水下的通信與探測需求，自主研制軍民領(lǐng)域應(yīng)用裝備；一方面與相關(guān)專業(yè)院所及承制單位合作，為其提供配套研發(fā)制造服務(wù)。

國數(shù)科技旗下微電子研發(fā)團(tuán)隊(duì)，以“海洋強(qiáng)國”戰(zhàn)略為指引，以解決國家技術(shù)“卡脖子”與填補(bǔ)“技術(shù)空白”為時(shí)代使命，專注海洋通信與探測領(lǐng)域芯片研制，致力于成為海洋芯片領(lǐng)域的研制專家。

青島財(cái)經(jīng)日報(bào)/首頁傳媒記者  宋大偉