華特氣體：公司四款光刻氣產(chǎn)品（Ar/Ne/Xe、Kr/Ne、F2/Kr/Ne、F2/Ar/Ne）均通過了日本GIGAPHOTON株式會(huì)社的合格供應(yīng)商認(rèn)證，公司目前是國內(nèi)唯一一家同時(shí)通過荷蘭ASML公司和日本GIGAPHOTON株式會(huì)社認(rèn)證的氣體公司。
華特氣體：公司四款光刻氣產(chǎn)品（Ar/Ne/Xe、Kr/Ne、F2/Kr/Ne、F2/Ar/Ne）均通過了日本GIGAPHOTON株式會(huì)社的合格供應(yīng)商認(rèn)證，公司目前是國內(nèi)唯一一家同時(shí)通過荷蘭ASML公司和日本GIGAPHOTON株式會(huì)社認(rèn)證的氣體公司。
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