山東頭號(hào)重點(diǎn)項(xiàng)目——“集成電路用大尺寸硅材料規(guī)模化生產(chǎn)項(xiàng)目”一期工程，經(jīng)過(guò)18個(gè)月的緊張施工建設(shè)，10月16日正式實(shí)現(xiàn)通線量產(chǎn)，填補(bǔ)了山東沒(méi)有硅片生產(chǎn)的空白。
16日，8英寸集成電路用硅片項(xiàng)目通線量產(chǎn)啟動(dòng)儀式在德州經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)舉行，實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)后，德州將成為我國(guó)北方最大的半導(dǎo)體材料生產(chǎn)基地。
中國(guó)工程院院士屠海令說(shuō)：“硅材料，是我們發(fā)展集成性半導(dǎo)體的最重要的一個(gè)基礎(chǔ)材料，通過(guò)跟德州的合作，將來(lái)對(duì)我們集成電路的發(fā)展一定有很好的促進(jìn)和推動(dòng)作用。”
硅片由高純度單晶硅拉制而成，直徑越大技術(shù)難度越大。8英寸硅片目前是芯片市場(chǎng)應(yīng)用最廣的產(chǎn)品，以前70%依靠進(jìn)口。該項(xiàng)目量產(chǎn)后，可實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)276萬(wàn)片，將極大彌補(bǔ)國(guó)內(nèi)缺口。
山東有研半導(dǎo)體材料有限公司總經(jīng)理張果虎介紹說(shuō)：“我們這次把北京的全部專利技術(shù)團(tuán)隊(duì)全部帶到山東來(lái)，比較短的時(shí)間實(shí)現(xiàn)了量產(chǎn)。一期按我們的建設(shè)目標(biāo)，產(chǎn)值會(huì)在10億左右。”
“集成電路用大尺寸硅材料規(guī)模化生產(chǎn)項(xiàng)目”從立項(xiàng)開(kāi)始就被確定為山東省2019年頭號(hào)重點(diǎn)項(xiàng)目，總投資達(dá)到80億元。為了加速項(xiàng)目落地，德州推行“雙線并行、模擬審批”機(jī)制，建設(shè)項(xiàng)目土地手續(xù)和項(xiàng)目規(guī)劃、施工手續(xù)同步辦理，實(shí)現(xiàn)“拿地即開(kāi)工”。
德州市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)行政審批部副部長(zhǎng)李愛(ài)軍說(shuō)：“項(xiàng)目現(xiàn)在落地最大的堵點(diǎn)在于土地手續(xù)的辦理，現(xiàn)在我們最大的改革節(jié)點(diǎn)，提前到土地征收批復(fù)這個(gè)節(jié)點(diǎn)。因?yàn)檎魇张鷱?fù)到土地出讓這個(gè)時(shí)間大概有4到6個(gè)月的時(shí)間，所以我們充分利用這段時(shí)間進(jìn)行了模擬審批。”
8英寸硅片生產(chǎn)工藝非常精密，缺陷尺度要控制在納米級(jí)，對(duì)生產(chǎn)條件的要求極為苛刻，車間設(shè)計(jì)相對(duì)復(fù)雜。對(duì)此，在模擬審批的基礎(chǔ)上，德州率先嘗試樁基工程和主體工程分開(kāi)審批。
德州市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)行政審批部副部長(zhǎng)李愛(ài)軍說(shuō)：“在實(shí)施樁基工程審批以后，項(xiàng)目就可以進(jìn)場(chǎng)施工了。這期間再完成主體工程的審批。這樣整體流程和環(huán)節(jié)就比較緊湊。”
整個(gè)審批環(huán)節(jié)，為項(xiàng)目節(jié)約落地時(shí)間4個(gè)多月，然而，項(xiàng)目建設(shè)關(guān)鍵期卻遭遇疫情。為了減少疫情影響，德州為項(xiàng)目建設(shè)開(kāi)通“快速通道”，保工人返崗復(fù)工和建設(shè)材料供應(yīng)，做到了疫情期間不停工。與此同時(shí)，針對(duì)項(xiàng)目生產(chǎn)特殊要求，德州對(duì)水、電、氣等基礎(chǔ)設(shè)施配套進(jìn)行了全要素保障。專門為企業(yè)建設(shè)了35千伏專用變電站，實(shí)行雙回路供電。
德州經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)科技創(chuàng)新部部長(zhǎng)趙興說(shuō)：“提前進(jìn)行人員的培訓(xùn)，保障項(xiàng)目技術(shù)人員的支撐；在資金方面，市政府出臺(tái)了集成電路產(chǎn)業(yè)的支持政策，我們與市區(qū)兩級(jí)融資平臺(tái)積極對(duì)接，調(diào)度資金，保障對(duì)有研的資金和補(bǔ)貼及時(shí)到位。”
從立項(xiàng)到投產(chǎn)，8英寸半導(dǎo)體級(jí)單晶硅片項(xiàng)目只用了18個(gè)月，整整比預(yù)期提前了半年。有了龍頭企業(yè)帶動(dòng)，目前德州正規(guī)劃建設(shè)270畝的半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)園區(qū)，推動(dòng)半導(dǎo)體材料集群式發(fā)展，預(yù)計(jì)年底將有4家企業(yè)入駐。
德州市政府黨組成員、 德州經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)黨工委書(shū)記、管委會(huì)主任王震秀表示：“這樣的話應(yīng)該講我們?cè)谧疃痰臅r(shí)間內(nèi)，最有效的來(lái)解決我們整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈的延伸問(wèn)題和產(chǎn)業(yè)集群的問(wèn)題。我相信我們整個(gè)德州市不光是在半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)層次上有所提高，而且是在我們整個(gè)經(jīng)濟(jì)發(fā)展上會(huì)有一個(gè)快速的提升。”
來(lái)源：齊魯網(wǎng)
請(qǐng)輸入驗(yàn)證碼