山東頭號重點項目——“集成電路用大尺寸硅材料規(guī)模化生產(chǎn)項目”一期工程，經(jīng)過18個月的緊張施工建設(shè)，10月16日正式實現(xiàn)通線量產(chǎn)，填補了山東沒有硅片生產(chǎn)的空白。
16日，8英寸集成電路用硅片項目通線量產(chǎn)啟動儀式在德州經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)舉行，實現(xiàn)量產(chǎn)后，德州將成為我國北方最大的半導(dǎo)體材料生產(chǎn)基地。
中國工程院院士屠海令說：“硅材料，是我們發(fā)展集成性半導(dǎo)體的最重要的一個基礎(chǔ)材料，通過跟德州的合作，將來對我們集成電路的發(fā)展一定有很好的促進(jìn)和推動作用。”
硅片由高純度單晶硅拉制而成，直徑越大技術(shù)難度越大。8英寸硅片目前是芯片市場應(yīng)用最廣的產(chǎn)品，以前70%依靠進(jìn)口。該項目量產(chǎn)后，可實現(xiàn)年產(chǎn)276萬片，將極大彌補國內(nèi)缺口。
山東有研半導(dǎo)體材料有限公司總經(jīng)理張果虎介紹說：“我們這次把北京的全部專利技術(shù)團(tuán)隊全部帶到山東來，比較短的時間實現(xiàn)了量產(chǎn)。一期按我們的建設(shè)目標(biāo)，產(chǎn)值會在10億左右。”
“集成電路用大尺寸硅材料規(guī)模化生產(chǎn)項目”從立項開始就被確定為山東省2019年頭號重點項目，總投資達(dá)到80億元。為了加速項目落地，德州推行“雙線并行、模擬審批”機(jī)制，建設(shè)項目土地手續(xù)和項目規(guī)劃、施工手續(xù)同步辦理，實現(xiàn)“拿地即開工”。
德州市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)行政審批部副部長李愛軍說：“項目現(xiàn)在落地最大的堵點在于土地手續(xù)的辦理，現(xiàn)在我們最大的改革節(jié)點，提前到土地征收批復(fù)這個節(jié)點。因為征收批復(fù)到土地出讓這個時間大概有4到6個月的時間，所以我們充分利用這段時間進(jìn)行了模擬審批。”
8英寸硅片生產(chǎn)工藝非常精密，缺陷尺度要控制在納米級，對生產(chǎn)條件的要求極為苛刻，車間設(shè)計相對復(fù)雜。對此，在模擬審批的基礎(chǔ)上，德州率先嘗試樁基工程和主體工程分開審批。
德州市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)行政審批部副部長李愛軍說：“在實施樁基工程審批以后，項目就可以進(jìn)場施工了。這期間再完成主體工程的審批。這樣整體流程和環(huán)節(jié)就比較緊湊。”
整個審批環(huán)節(jié)，為項目節(jié)約落地時間4個多月，然而，項目建設(shè)關(guān)鍵期卻遭遇疫情。為了減少疫情影響，德州為項目建設(shè)開通“快速通道”，保工人返崗復(fù)工和建設(shè)材料供應(yīng)，做到了疫情期間不停工。與此同時，針對項目生產(chǎn)特殊要求，德州對水、電、氣等基礎(chǔ)設(shè)施配套進(jìn)行了全要素保障。專門為企業(yè)建設(shè)了35千伏專用變電站，實行雙回路供電。
德州經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)科技創(chuàng)新部部長趙興說：“提前進(jìn)行人員的培訓(xùn)，保障項目技術(shù)人員的支撐；在資金方面，市政府出臺了集成電路產(chǎn)業(yè)的支持政策，我們與市區(qū)兩級融資平臺積極對接，調(diào)度資金，保障對有研的資金和補貼及時到位。”
從立項到投產(chǎn)，8英寸半導(dǎo)體級單晶硅片項目只用了18個月，整整比預(yù)期提前了半年。有了龍頭企業(yè)帶動，目前德州正規(guī)劃建設(shè)270畝的半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)園區(qū)，推動半導(dǎo)體材料集群式發(fā)展，預(yù)計年底將有4家企業(yè)入駐。
德州市政府黨組成員、 德州經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)黨工委書記、管委會主任王震秀表示：“這樣的話應(yīng)該講我們在最短的時間內(nèi)，最有效的來解決我們整個產(chǎn)業(yè)鏈的延伸問題和產(chǎn)業(yè)集群的問題。我相信我們整個德州市不光是在半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)層次上有所提高，而且是在我們整個經(jīng)濟(jì)發(fā)展上會有一個快速的提升。”
來源：齊魯網(wǎng)
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